AeroBar MP 5635 Ersatzemitter
Die AeroBar MP 5635 Ersatzemitter sind speziell entwickelt, um elektrostatische Aufladungen in der Halbleiterproduktion und anderen kritischen Reinraum-Prozessen effizient zu beseitigen. Sie nutzen eine hochfrequente Sinuswelle mit modulierten Impulsen, um eine sehr hohe Ionenausgabe zu erreichen. Dies ermöglicht eine Platzierung in unmittelbarer Nähe zu Wafern, was die Anforderungen der erweiterten ISO 1 Klasse erfüllt.
Die Installation erfolgt einfach durch Einstecken in eine 24 V DC-Spannungsquelle. Zusätzlich ist eine optionale Druckluftunterstützung möglich. Anwender können die Feinabstimmung der Steuerparameter direkt am Gerät oder über eine benutzerfreundliche Software vornehmen, um optimale Ergebnisse hinsichtlich Balance, Spannungsschwankung und Entladezeit zu erzielen.
Technische Daten:
- Kompatibel mit Wafer-Technologien inklusive 22 nm und darunter
- Einheitliche Balance
- Platzierung im Abstand von 150 mm zu Wafer oder Maske möglich
- Emitterspitzen aus extrem reinem Silizium
- Alarm-Ausgangssignal für Anschluss an Maschinensteuerung
- Abmessungen: 78 x 34 x 450 - 1600 mm
Bitte beachten Sie, dass dieses Produkt vom Umtausch ausgeschlossen ist.
Artikelnummer: 7500.AB-MP.E
Produkttyp: Zubehör
Details
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