Produktfamilie
AeroBar MP 5635 Ionisierstab
Ultra-reines Design: Erfüllt strenge Reinheitsstandards wie ISO 14644 Klasse 1 für partikelempfindliche Umgebungen.
Emitterspitzen: Hergestellt aus hochreinem Silizium, das die Kompatibilität mit empfindlichen Prozessen gewährleistet.
Steuerparameter: Anwender können die Feinabstimmung der Steuerparameter am Stab vornehmen oder die benutzerfreundliche Software verwenden, um optimale Balance, Spannungsschwankung und Entladezeit einzustellen.
Näherungsfähigkeit: Kann bis zu 150 mm von empfindlichen Komponenten wie Wafern entfernt montiert werden, ohne die Leistung zu beeinträchtigen.
Zusätzliche Merkmale: Luftunterstützung für verbesserte Ionenverteilung, automatischer Abgleich für präzise statische Neutralisierung und Alarmsignale für Betriebsrückmeldungen.
Installation: Erfolgt schnell durch einfaches Einstecken in eine 24 V DC-Spannungsquelle.
Luftunterstützung: Für Luftunterstützung muss eine Druckluftleitung angeschlossen werden.
Alarmausgang: Ein Alarmausgang in der Anschlussbox ermöglicht den Anschluss an eine Maschinen- oder Anlagensteuerung oder die Auswertung über einen Monitoring-PC.
Kompatibilität: Kompatibel mit allen Wafer-Technologie-Knoten inklusive 22 nm und darunter.